尺寸：96×96mm。
控制輸出1：繼電器輸出。
控制輸出2：繼電器輸出。
輔助輸出：獨(dú)立2點(diǎn)。
電源電壓：AC100～240V。
端子形狀：螺釘端子臺(tái)型。
輸入類別：全量程多輸入E52-CA1GT手冊(cè)。
加熱斷線、SSR故障檢測(cè)功能：1點(diǎn)。
通信：RS-485。
事件輸入：2點(diǎn)。
遠(yuǎn)程SP輸入：--E52-CA1GT
傳送輸出：--。
清晰易讀的大屏白光PV顯示。從選型到設(shè)定與操作均簡(jiǎn)單易用。
完整的I/O容量、功能和性能范圍。適合更多應(yīng)用。
E5AC的白光LCDPV顯示屏高度約為25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信轉(zhuǎn)換線（另售）連接至電腦上來(lái)建立控制器而不需要為電源安裝電線E52-CA1GT手冊(cè)。
輕松安裝CX-Thermo（另售）。
50ms高速采樣周期。
型號(hào)可配備最多4點(diǎn)輔助輸出，6點(diǎn)事件輸入，
1點(diǎn)傳送輸出和遠(yuǎn)程SP輸入，適合一系列廣泛的應(yīng)用。
主體短小，厚度僅為60mm。
易于使用未編程通信連接到可編程邏輯控制器(PLC)E52-CA1GT手冊(cè)。
使用部件通信將溫控器互相連接。
新型位置比例控制型號(hào)使您還可以控制閥門(mén)。晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過(guò)與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹(shù)脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無(wú)滑石粉）歐姆龍數(shù)字式控制器手冊(cè)。增量型 外徑φ40（中空軸）。
增量型。
外徑：φ40。
分辨率（最大）：3600。
薄型（厚度26mm）。
電源電壓：DC5～24V。
輸出形式：線性驅(qū)動(dòng)器輸出。
尺寸：48×96mm。
控制輸出1：繼電器輸出。
控制輸出2：繼電器輸出。
輔助輸出：獨(dú)立2點(diǎn)。
電源電壓：AC100～240V歐姆龍數(shù)字式控制器手冊(cè)。
端子形狀：螺釘端子臺(tái)型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱斷線、SSR故障檢測(cè)功能：--。
通信：--。
事件輸入：--。
遠(yuǎn)程SP輸入：--。
傳送輸出：--。
清晰易讀的大屏白光PV顯示歐姆龍數(shù)字式控制器手冊(cè)。從選型到設(shè)定與操作均簡(jiǎn)單易用。
完整的I/O容量、功能和性能范圍。適合更多應(yīng)用。
E5AC的白光LCDPV顯示屏高度約為25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信轉(zhuǎn)換線（另售）連接至電腦上來(lái)建立控制器而不需要為電源安裝電線。
輕松安裝CX-Thermo（另售）。E52-CA1GT通信手冊(cè)。
50ms高速采樣周期。
型號(hào)可配備最多4點(diǎn)輔助輸出，6點(diǎn)事件輸入，
1點(diǎn)傳傳送輸出和遠(yuǎn)程SP輸入，適合一系列廣泛的應(yīng)用E52-CA1GT手冊(cè)。
主體短小，厚度僅為60mm。
易于使用未編程通信連接到可編程邏輯控制器(PLC)。
使用部件通信將溫控器互相連接。
新型位置比例控制型號(hào)使您還可以控制閥門(mén)。